硅磷晶水处理可靠性维修技术，简单解释就是，通过数据计算，计算出设备的维修更新时间，杜绝设备故障发生，从而保证后续设备的正常工作。
在检修技术中，美国70年代将以可靠性为中心的维修应用于民航工业，80年代幵始逐步推广到各个行业中。值得注意的是在90年代，美国出现了应用可靠性方法实现动力设备可靠性维修的实例。
我国的设备维修己经逐步由计划维修向预知性维修过渡，目前还没有形成指导全局的纲领性的文件和办法。从全局来看，由计划维修向预知性维修发展过程中，尤其是采用RCM理论指导动力设备的维修还是一项空白。本文提出了实现硅磷晶设备可靠性维修方法。
硅磷晶水处理设备RCM方法
硅磷晶水处理设备以可靠性为中心维修的主要工作就是根据功能和性能标准，确定部件功能故障，找出在该功能故障下的故障模式，随后确认各功能故障的故障影响和故障后果，最后综合评定所要采用的预防维修工作或暂定措施。
这个办法对于设备辅件相对来说比较容易实现，但是对于硅磷晶内部，由于工作环境的特殊性，尽管描述功能故障的发生率比较容易，但是描述符合于各故障模式的故障参数，同时又使故障模式限制在各功能故障的范围之内，确实是繁重和复杂的统计和分析工作。更困难的是，许多故障模式具有实际上完全相同的物理征兆，加上真正了解硅磷晶特性的人不多，这使分析者很容易相互混淆。所以，这是目前硅磷晶设备受热面很难实现可靠性维修的问题之一。
如果能够根据设备运行损伤因素及其相互作用情况，确定分析段硅磷晶的精确性能，可靠性的关系，只需分析计算影响部件的几种损伤因素就可以了。研究硅磷晶水处理可靠性关系，需要大量的数据。采用RCM方法分析影响硅磷晶设备部件主要损伤因素，找出各因素对可靠性影响的故障模型，就可以根据运行情况评价设备的维修周期，进一步结合状态监测结果，确定各个损伤因素对部件寿命影响的大小，实现设备的可靠性维修。原创文章，未经书面授权使用，追究侵权责任及经济赔偿。
